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    学院公告
    成交结果公告
    时间:2023-05-26 点击:

一、项目编号: ZXCG012023042401

二、项目名称:纳米孔团队购买光刻机项目

三、采购类型:货物

四、成交信息

供应商名称:苏州中芯启恒科学仪器有限公司

成交金额()20万元

成交标的信息:

货物

名称

品牌、规格型号

(或服务要求)

数量/

单位

单价

(元)

总价

()
光刻机

型号规格:Cchip-0019

配置:暴光头系统、对准工作台、双视场对准显微镜、电控系统、气动系统;

技术参数:曝光面积110mmx110mm、曝光波长365nm、分辨力0.8μm、对准精度±0.5μm、掩模尺寸3英寸、4英寸、5英寸 样片尺寸2英寸、3 英寸、4英寸、厚度 0.1mm-5mm、照明不均匀性2%、掩模相对于样片运动行程X:±5 mm Y:±5 mm θ:±6°、曝光光源紫外LED40mW、曝光量设定(倒计时方式 0.1-999.9 任意设定)、最大胶厚350、光源平行性≤1.8°、双视场显微镜0.5-4.5X
1/ 200000 200000

五、评审专家(市场采购小组成员):周腾,史留勇,陈致水,袁成宇,王娟

联系人:周腾,手机号:18689637366

海南大学机电工程学院
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